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產(chǎn)品型號：FLA-200
更新時間：2024-07-12簡要描述：日本napson晶圓平面度測量系統(tǒng)FLA-200支持厚度測量、PN判斷、溫度測量（硅晶圓）自檢功能，測量范圍廣厚度/周邊位置/溫度校正功能（電阻率（resistivity）測量）可根據(jù)要求容納任意數(shù)量的包埋盒。*可選：通訊軟件，兼容SMIF或FOUP
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
日本napson晶圓平面度測量系統(tǒng)FLA-200
日本napson晶圓平面度測量系統(tǒng)FLA-200的介紹
深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年，坐落于年輕奮進的深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內貿(mào)易、經(jīng)營進出口等業(yè)務。聯(lián)合國際名品牌搭建工業(yè)品供應鏈，采用與 MRO分銷商結盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡化，提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建立采購中心，以流的專業(yè)國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關系。
非接觸式平面度和厚度測量系統(tǒng)。測量晶圓樣品的平整度（TTV、BOW、WARP）和厚度。
?支持厚度、TTV、BOW、翹曲、場地平面度和整體平面度的測量（符合 ASTM）
?2D、3D映射顯示軟件
?數(shù)據(jù)可以輸出為CSV文件
?5mmφ芯電容探頭高精度測量
?12,000點/60秒以內的高速測量
?半導體及太陽能電池材料（硅、多晶硅、SiC等）
?硅外延、離子注入樣品
?化合物半導體（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
3 到 8 英寸
厚度：200 –1200μm
彎曲度：+/-350μm
經(jīng)度：350μm
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