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產品分類在半導體制造流程中,封裝(Packaging)是將脆弱的晶圓芯片變成堅固耐用電子元件的關鍵步驟。封裝結構的復雜性日益提升,諸如2.5D/3D IC、扇出型封裝(Fan-Out)、系統級封裝(SiP) 等先進技術被廣泛應用。與此同時,封裝過程中的任何微小缺陷——如焊點虛焊、金線斷裂、基板翹曲、塑封料分層或異物侵入——都可能導致整個器件失效。
因此,對封裝工藝進行高精度、高效率的缺陷檢測(Defect Inspection) 和根因明確的失效分析(Failure Analysis, FA) 變得至關重要。山田光學(Yamada-Opt)YP-250I工業顯微鏡憑借其卓的越的光學性能、人性化設計和可靠性,成為支撐這一質量體系的核心視覺裝備。
其賦能價值體現在以下四個核心優勢上:
卓的越的光學清晰度與分辨率:
高清光學鏡頭與CCD系統能夠提供無畸變、高對比度的真實圖像,確保檢測人員能夠清晰觀察到芯片表面的細微劃傷(Scratch)、變色、污染物(Contamination) 以及焊球(Solder Ball)的形態異常。
強大的景深與三維觀測能力:
封裝結構具有高度差(如芯片、基板、焊球之間)。YP-250I的優良景深允許在單次對焦內觀察到更多層次的結構,無需頻繁調焦即可快速完成三維物體的整體觀測,極大提升檢測效率,尤其適用于BGA焊球共面性檢測和金線弧度的觀察。
人性化與防靜電(ESD)設計:
符合人機工程學的設計(可調節目鏡、傾斜觀察筒)大幅降低長時間檢測帶來的操作員疲勞,保證判讀的準確性和一致性。
全面的防靜電(ESD)保護設計,避免顯微鏡在觀察過程中成為靜電釋放源,損傷對靜電高度敏感的芯片內部電路,這是半導體實驗室和產線的必的備要求。
靈活的配置與可擴展性:
環形光: 提供均勻照明,用于表面整體檢查。
斜照明: 凸顯物體表面的凹凸紋理,易于發現劃痕和雕刻印記。
同軸光: 消除反光,用于平整光滑表面的缺陷檢測。
可搭配多種物鏡和光源(如環形光、同軸光、斜照明),針對不同檢測需求提供最佳照明方案。例如:
應用一:封裝成品常規缺陷檢測(Inspection)
基板檢測: 檢查線路是否短路、斷路,表面是否有污染或氧化。
芯片貼裝(Die Attach): 觀察芯片粘貼是否正位,膠水/焊料是否均勻,有無溢膠。
金線/銅線綁定(Wire Bonding): 檢測線?。↙oop)形狀是否一致、有無塌陷、頸部(Neck)是否有裂紋或斷裂風險。這是YP-250I最核心的應用之一。
塑封體(Molding Compound): 檢查封裝體表面是否有氣孔(Voids)、裂紋(Cracks)、未填充區域或外來異物。
焊球陣列(BGA/CSP): 檢測焊球的大小、形狀、共面性以及是否存在橋連(Bridge)、冷焊(Cold Solder)或氧化。
應用二:深度失效分析(Failure Analysis)
開封后(Decapsulation)觀察: 在化學或激光開封后,使用YP-250I初步觀察芯片內部的金線、焊盤、晶圓表面是否存在燒毀、腐蝕、擊穿等異?,F象,為后續更精密的SEM/EDAX分析定位目標區域。
交叉截面(Cross-Section)分析: 對切割后的樣品斷面進行觀察,測量鍍層厚度、檢查界面結合情況(如是否存在分層-Delamination)、分析焊點內部的孔洞(Voids)比例和裂紋延伸路徑。
故障定位確認: 在 electrical failure analysis 后,通過紅外熱成像或EMMI/OBIRCH等技術定位到熱點(Hot Spot)或漏電點,再用YP-250I進行光學確認,尋找對應的物理損傷證據。
山田光學YP-250I工業顯微鏡并不僅僅是一個“放大鏡",它是半導體封裝領域質量工程師和失效分析師的“眼睛"。它通過提供清晰、真實、立體的視覺圖像,將抽象的“故障"轉化為可見的“缺陷",為工藝改善、良率提升和可靠性驗證提供了不的可的或的缺的第一手數據依據。