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更新時間：2024-09-03 
瀏覽次數：641日本adwillUV固化型BG表面保護膠帶E系列的產品介紹
紫外光固化BG表面保護膠帶Adwill E系列是紫外光固化BG表面保護膠帶，可在背磨過程中可靠地保護晶圓表面，防止因研磨水和研磨碎屑的滲入而污染晶圓表面。 UV照射顯著降低膠帶剝離時的粘合強度，因此不會對晶圓施加應力，可用于加工大直徑和薄晶圓。
特殊工藝：DBG
按工藝分類的膠帶應用
1.標準
2.超薄研磨（厚度>40μm）
3.微型泵（含墨點）
4.泵（高度<150μm）
5.高泵（高度<250μm）
兼容設備
-標準型（通用型）
1.設備可靠性高
晶圓表面污染極少，因此背面研磨后無需清洗晶圓。
2.保持高清潔度的生產系統
-薄型/凸塊晶圓兼容型
1.抑制背面研磨后的晶圓翹曲，支撐凸塊晶圓
2.提高晶圓厚度精度 (TTV*)
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